新美光(苏州)半导体科技有限公司集成电路用超大尺寸先进硅材料研发及量产项目(重新报批)配...
2023-11-01 14:21:05
新美光(苏州)半导体科技有限公司集成电路用超大尺寸先进硅材料研发及量产项目(重新报批)配套的环境保护设施调试信息公示
根据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》等有关规定,现对“新美光(苏州)半导体科技有限公司集成电路用超大尺寸先进硅材料研发及量产项目(重新报批)”配套建设的环境保护设施调试的信息向社会公示,使项目建设可能影响区域环境内的公众对项目建设情况有所了解,并通过公示了解社会公众对本项目的态度和建议,接受社会公众的监督。
一、建设项目情况简述
项目名称:新美光(苏州)半导体科技有限公司集成电路用超大尺寸先进硅材料研发及量产项目(重新报批)
建设单位:新美光(苏州)半导体科技有限公司
建设概况:本次验收项目总投资30000万元;环保投资:420万元,建设地点位于群星三路10号,本项目相关设备及治理措施已经安装完成,现进行调试公示。
二、建设单位调试时产生的污染物及措施简述
1、废气:本项目废气主要为酸碱废气、有机废气和锅炉燃烧废气。酸碱废气来源于硅片清洗过程、硅部件化学处理、预清洗和最终清洗过程。酸性气体包括氢氟酸、硫酸雾、氯化氢;碱性废气主要为KOH、氨;有机废气来源于粘合过程;锅炉燃烧废气来源与锅炉房,主要污染因子为颗粒物、二氧化硫和氮氧化物。
其中酸性废气由碱性洗涤塔处理后通过DA001排气筒排放(30米);碱性废气由酸性洗涤塔处理后通过DA002排气筒排放(30米);天然气燃烧废气经低氮燃烧后通过DA003排气筒排放(8米)。有机废气通过移动式活性炭吸附后车间通风排放。
2、废水:本项目废水为生活污水和生产废水,不含氮的生产废水经厂区内自建污水处理设施TW001处理后与生活污水、锅炉排水、纯水制备弃水、制程冷却水系统排水一并达标接管市政污水管网排入园区污水处理厂;含四甲基氢氧化铵的废水经自建的TW002废水设施预处理后与其他含氮的生产及公辅废水经过自建污水处理设施TW003处理后全部回用至冷却塔,不外排;清洗机溢流废水经自建的溢流水处理设施TW004处理后回用至纯水制备,不外排。
三、调试日期
计划调试开始时间:2023年11月1日
计划调试完成时间:2023年11月30日
四、征求公众意见的范围:
关注本建设项目和周边环境影响区域内的居民、单位等公众。
五、公众反馈方式:
公众可采用向公示指定地址发送信函、电子邮电等方式,发表对该工程竣工的意见和看法,发表意见的同时请提供详细的联系方式,建设单位将听取公众的意见对建设项目进行整改。
六、建设单位名称及联系方式:
建设单位:新美光(苏州)半导体科技有限公司
建设地址:群星三路10号
联系人:成工
电话:15162979830

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附件 2023-11-01